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              氧氣分析儀在半導體/液晶/電子元器件等領域的相關應用

              發布時間:2020-10-16 點擊量:1768

              日本東麗TORAY氧氣分析儀MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

              氧氣表MS-500

              • 多可以同時測量8個點
              • 濃度范圍從ppm到100%均可顯示。
              • 非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
              • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
              • 特殊涂層應用于高度耐用的傳感器,以進一步提高耐用性。

              MS-500設備規格

              測量原理

              氧化鋯輕型電池

              形狀

              分體式(轉換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)

              顯示方式

              4位數字顯示(密度顯示)

              測量范圍

              0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
              自動范圍

              重復性

              在±0.5%FS 0-1%范圍內或以上
              ±1%FS以下或≤±
              0.1ppm大于0-1ppm的0-1%內,atm范圍超出保證的濃度范圍

              測量點數

              1-8

              樣氣條件

              壓力

              10 -3至200 KPa(壓力)

              流量

              0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴散狀態的測量)

              濕度

              露點低于環境溫度

              溫度

              0-100℃

              其他

              不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

              比較氣

              大氣層

              記錄儀輸出

              僅變速箱輸出

              變速箱輸出

              RS-232C

              報警輸出

              沒有

              熱身時間

              6分鐘以內

              尺寸

              MS-500(控制器)

              92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)

              MS-510(轉換器)

              100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)

              傳感器單元

              SD16NW

              總長100 mm(感應部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)

              SD25NW

              總長100mm(感應部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)

              SD40NW

              總長100 mm(感應部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)

              大眾

              MS-500(控制器)

              約0.6Kg

              MS-510(轉換器)

              約0.5kg

              傳感器單元

              SD16NW

              約0.2Kg

              SD25NW

              約0.2Kg

              SD40NW

              約0.35Kg

              外部連接

              真空法蘭之一(NW16、25、40)

              使用電源

              24VDC±10%

               

              氧氣計LC-450A,LC-450D

              LC-450A,LC-450D


              • 可以顯示很寬的濃度范圍,從測量到的濃度范圍內的ppm水平到100%。
              • 改進的傳感器耐用性
                氧氣傳感器經過特殊處理,以提高其耐用性。
              • 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
                * LC-450D由24V DC驅動
              • 緊湊且易于安裝
                深度比我們的傳統型號還要短,并且不會占用太多空間。
              • 符合RoHS的產品
              • CE標志自我聲明產品
                EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

              氧氣計LC-860

              LC-860

              • 低濃度測量
                可以測量ppb到100%
              • 操作簡便
                按功能可輕松操作
              • 吹掃功能
                比較氣體更穩定,測量更精que(僅適用于具有吹掃功能的規格)
              • 高可靠性傳感器傳感器
                內部還可以進行防劣化處理(可選)

               

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