日本EHC薄膜基板實驗?zāi)Σ裂b置MRG-100產(chǎn)品運(yùn)用

日本ehc小型摩擦裝置MRM-100
•目的：用于LCD對準(zhǔn)調(diào)查的實驗室用拉比機(jī)

•長凳型。

•基板加載：手動

•加載/卸載位置：拉桿前后

•最大基板尺寸：100mm×100mm

•基板厚度：最小0.1mm，最大2mm

•基板材料：玻璃、PC、COP等

黃色 松本

基板桌子

•速度：0～50mm/sec、1mm/sec、精度±可通過0.1mm/sec的步驟進(jìn)行調(diào)整

•移動行程：300mm

•移動方向：垂直于滾筒、上下方向、上下方向（自動）

•工作臺旋轉(zhuǎn)：固定

•表格表面平坦度：±10μm

•基板固定：真空發(fā)生器吸附固定

•基板定位：手動

拉桿

•寬度：240mm

•直徑：48mm±0.01mm（以滾芯外徑定義）

•RPM：0?1500 rpm。 1rpm、精度±可通過0.1rpm的步驟進(jìn)行調(diào)整（數(shù)字顯示）

•平行度對基板表：相對于全部寬度±10μm

•平行度對臺行程：以*的拉桿行程±10μm

•旋轉(zhuǎn)方向：順時針和逆時針

•上卷/下行程：10mm

•滾筒壓（行程）精度：±0.01 mm

•角度調(diào)整：±45°、1°可設(shè)定為單位

•布是天鵝絨黑色，吉川化工 YA-20-R 毛長2mm 密度32000根/cm^2

實用程序

•電源：AC100-240V 50/60Hz，最大500W

•壓空：0.5MPa

•尺寸 W600 ｘ D760 ｘ H807.2mm 重量：約80kg