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用于硬涂層膜厚檢測(cè)設(shè)備-反射光譜膜厚計(jì)AFW-100W
[機(jī)理] 當(dāng)
樣品受到光照射時(shí)，它會(huì)根據(jù)膜厚顯示出*的光譜。薄膜表面反射的光與穿過薄膜并在基板表面反射的光相互干擾。當(dāng)光的相位匹配時(shí)，強(qiáng)度增加，而當(dāng)光相移時(shí)，強(qiáng)度降低。反射計(jì)是一種通過分析該光譜來測(cè)量薄膜厚度的方法。
[優(yōu)點(diǎn)] -
與 SEM 和觸針式輪廓儀不同，無需接觸即可進(jìn)行測(cè)量。
- 與橢偏儀相比，便宜且易于使用。
將來也可以安裝在量產(chǎn)設(shè)備中。
| 模型 | AFW-100W |
|---|---|
| 用 | 對(duì)于一般膜厚 |
| 設(shè)備配置 | 單元主體、測(cè)量臺(tái)、2 分支光纖 (1.5m)、PC |
| 測(cè)量波長(zhǎng)范圍 | 380-1050nm |
| 膜厚測(cè)量范圍 | 100nm～1μm（曲線擬合法） |
| 1 μm 至 60 μm (FFT) | |
| 測(cè)量再現(xiàn)性 | 0.2%-1%（視膠片質(zhì)量而定） |
| 測(cè)量光斑直徑 | 約7mm |
| 光源 | 12V-50W鹵素?zé)?/span> |
| 測(cè)量理論 | 曲線擬合法/FFT法 |
| 外形尺寸 (mm) | 測(cè)量臺(tái)：W150 x D150 x H115 |
| 機(jī)身：W230 x D230 x H135 | |
| 大約重量 | 5.5kg * 不包括 PC |
| 公用事業(yè) | AC100V 50 / 60Hz |
| 轟天猛將 | 鹵素?zé)?/span> |
