用于半導(dǎo)體制造工藝的單組分密度計(jì)介紹

單組分密度計(jì)的特點(diǎn)

實(shí)時(shí)濃度測(cè)量成為可能，并且易于構(gòu)建濃度控制系統(tǒng)。

• 標(biāo)配模擬DC4-20mA和數(shù)字RS232C

• 標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出

• 標(biāo)配自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示

• 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上

• 由于使用 PFA 的接液部件的質(zhì)量和小輸出設(shè)計(jì)，對(duì)化學(xué)溶液沒有影響。

優(yōu)點(diǎn)

• 可進(jìn)行高精度連續(xù)測(cè)量

• 免維護(hù)，無需定期調(diào)整和校準(zhǔn)

• 安裝方便，安裝過程中無需進(jìn)行各種調(diào)整

• 通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋過程

用途

• CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等。

• 稀釋過程中各種化學(xué)品的濃度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）

• 清洗過程中清洗液濃度控制（HF、NH4OH、KOH、IPA等）

• 蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（HF、H2SO4等）