紅外光非接觸式測(cè)厚儀的檢測(cè)優(yōu)勢(shì)

紅外光非接觸式測(cè)厚儀的檢測(cè)優(yōu)勢(shì)

紅外線可以穿過某些物質(zhì)。
這是一種利用此特性在不接觸的情況下測(cè)量特定材料厚度的技術(shù)。

由于電子設(shè)備中使用的硅、藍(lán)寶石、水晶和其他化合物的表面都經(jīng)過高精度拋光，因此不能使用基于接觸的厚度測(cè)量，因?yàn)樗鼤?huì)劃傷它們。
此外，由于材料會(huì)變形，因此無法通過接觸法準(zhǔn)確測(cè)量橡膠、薄膜、軟樹脂等的厚度。

激光和電容是非接觸式厚度測(cè)量的常用方法，但這些是位移計(jì)，不能測(cè)量絕對(duì)值。我們的紅外光法可以測(cè)量絕對(duì)值。

紅外光測(cè)厚原理

當(dāng)紅外光投射到工件上時(shí)，它首先被表面反射。
此外，紅外光透過工件內(nèi)部并在背面反射。
正反兩面反射的光被光學(xué)探頭接收，利用正反兩面反射光的時(shí)間差作為光干涉差來測(cè)量厚度。

允許對(duì)多層進(jìn)行單獨(dú)的厚度測(cè)量

基于此原理，在如上圖所示的多層工件的情況下，可以從各個(gè)反射光的干涉差來測(cè)量單個(gè)厚度。

以上是PC上顯示反射光干涉狀態(tài)的界面。
從波形的左邊看，它變成了R1到R4的干擾波。每個(gè)干涉差（Peak to Peak）是每一層的厚度。

絕對(duì)值測(cè)量的*性

《相對(duì)值測(cè)量》

位移計(jì)是一種相對(duì)值測(cè)量，它測(cè)量距離的差異作為厚度。因此，必須準(zhǔn)備一個(gè)參考平面（零點(diǎn)）。
此外，如果到參考表面的距離 (Gs) 不是恒定的，則會(huì)出現(xiàn)錯(cuò)誤。如果無法維持或隨時(shí)間變化，則每次執(zhí)行測(cè)量時(shí)都需要進(jìn)行零點(diǎn)復(fù)位。

《絕對(duì)值測(cè)量》

紅外光測(cè)量是通過前后表面反射光的干涉差獲得的，因此只需將工件放在傳感器頭下方即可測(cè)量絕對(duì)厚度。
即使到工件的距離（Ga）有一定波動(dòng)，如果范圍小于最大測(cè)量厚度（約4mm）-工件厚度（t），測(cè)量值和精度不會(huì)受到影響。

  

測(cè)量距離的*性

為了用位移計(jì)達(dá)到0.1μm的精度，傳感器頭到工件的距離一般必須在10mm以下。
采用這種紅外光法，測(cè)量距離可任意設(shè)置，最大可達(dá)1000mm左右，可保持0.1μm的測(cè)量精度。