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              網(wǎng)站首頁 ＞ 技術(shù)中心 ＞ 晶圓拋光晶片拋光過程中旋轉(zhuǎn)工作臺的平面度檢測設(shè)備推薦
              

              

              
  
              
    
              
  
              
    
              
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              晶圓拋光晶片拋光過程中旋轉(zhuǎn)工作臺的平面度檢測設(shè)備推薦
              
        
              發(fā)布時間：2024-12-11　點擊量：1365 
              
        
               
           
              晶圓拋光晶片拋光過程中旋轉(zhuǎn)工作臺的平面度檢測設(shè)備推薦
              在半導(dǎo)體制造設(shè)備的晶片拋光過程中，需要保持裝有晶片的上板和鋪有拋光布的旋轉(zhuǎn)工作臺（下板）的平面度。如果出現(xiàn)問題，晶圓就會厚度不均勻，不平整，無法進行均勻的拋光。此外，曝光期間圖像也會失焦。
              晶圓的平整度對于后續(xù)的曝光工藝至關(guān)重要，因此在拋光過程中必須保持平整。
              我們的數(shù)字水準儀用于保證上下平臺的平整度。
              相關(guān)產(chǎn)品
              SELN-001B
              SELN-121BM（國內(nèi)版）
              SELN-131BM（海外版）
              SELN-011B
              有線2軸精密數(shù)字水平儀SELN-001B
              image.png
              這款 2 軸數(shù)字水平儀（有線）是一款高精度且輕便的水平儀。與普通水平儀相比，它可以數(shù)字化顯示，使現(xiàn)場調(diào)整更加容易。此外，由于顯示器和水平儀通過電線連接，因此可以從遠處進行測量。由于它重量輕，因此還可以測量精細區(qū)域，例如處理晶圓的區(qū)域。監(jiān)視器屏幕上將顯示氣泡，您可以像查看氣泡水平儀一樣進行調(diào)整。由于它是數(shù)字顯示的，操作員之間的讀數(shù)沒有變化。

              特征
              01水平X軸和Y軸的角度精度為±0.001deg（17.5μ/m）。
              02在垂直距離較窄的地方進行水平觀察也可以！
              在垂直距離較窄的地方進行水平觀察也可以！
              03即時數(shù)字測量判斷使標準化工人標準成為可能。
              042軸同時調(diào)整可減少調(diào)整工作時間。
              05通過設(shè)定可接受的角度范圍，即使是初學(xué)者也可以輕松調(diào)節(jié)水平！ ！
              監(jiān)控詳情
               
              規(guī)格
              物品
              		內(nèi)容
              傳感器部分線性角X方向±0.3度 Y方向±0.3度
              測量分辨率0.0002度
              零點重復(fù)性±0.001度或更小
              響應(yīng)速度50 毫秒或更短
              工作溫度-10℃～＋50℃
              主體微電腦32位
              模數(shù)部分14位
              測量范圍±0.3度
              A/D分辨率0.000025度
              顯示單元0.0001度
              通過范圍設(shè)定范圍0.0001度
              量程切換0.01/ 0.001/ 0.0001
              超過顯示0.3度以上
              功能傳感器連接數(shù)1通道
              顯示部分4.3英寸彩色液晶觸摸屏

              		480×272點
              電源
              		專用AC適配器DC6V/2A

              		4 節(jié) AA 電池（1.5V）
              外形尺寸監(jiān)視器寬96×深36×高145毫米
              傳感器（SUS底座）φ50×H19毫米
              電纜2米
              重量監(jiān)視器392克
              傳感器70克
              配件
              		4 節(jié) AAA 電池（1.5V）

              		專用AC適配器DC6V/2A

              		操作說明





              
        
              
      
              
      
    
              
  
              

              

              









 
  




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