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              日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀

              日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀

              產品型號: MS-500

              所屬分類:氧氣

              產品時間:2025-08-02

              簡要描述:日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀MS-500
              多可同時測量8個點
              濃度顯示范圍很廣,從ppm到100%。
              非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
              傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
              具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進一步提高耐用性

              詳細說明:

              日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀MS-500

               

              氧氣分析儀MS-500

              • 多可同時測量8個點
              • 濃度顯示范圍很廣,從ppm到100%。
              • 非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
              • 傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
              • 具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進一步提高耐用性

              日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀MS-500

              MS-500設備規格

              測量原理氧化鋯濃縮池類型
              形狀分體式(轉換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)
              顯示方式4位數字顯示(密度顯示)
              測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol%O 2 10 -20至10 -0 atm
              自動量程
              重復性在±0.5%FS 0-1%范圍內或更高
              ±1%FS或±
              0.1ppm中,以較大者為準小于0-1%范圍0-1ppm,atm范圍超出保證的濃度范圍
              測量點數1?8
              樣氣條件壓力10 -3至200 KPa(壓力)
              流量0.5至5,000 mL / min或0 mL / min(自發擴散狀態的測量)
              濕度露點低于環境溫度
              溫度0-100°攝氏度
              其他請勿包含腐蝕性氣體(氟氣,氯氣,硫化物氣等),含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
              比較氣大氣層
              記錄儀輸出僅變速箱輸出
              變速箱輸出RS-232C
              報警輸出沒有
              熱身時間6分鐘以內
              尺寸MS-500(控制器)92(W)×44(H)×120(D)(不包括突起)
              MS-510(轉換器)100(W)×40(H)×88(D)(不包括突起)
              傳感器單元SD16NW總長100mm(感應部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)
              SD25NW總長100 mm(感應部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)
              SD40NW總長100mm(感應部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)
              大眾MS-500(控制器)約0.6Kg
              MS-510(轉換器)約0.5kg
              傳感器單元SD16NW約0.2Kg
              SD25NW約0.2Kg
              SD40NW約0.35Kg
              外部連接真空法蘭之一(NW16、25、40)
              使用電源24VDC±10%


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