日本ace差壓式大流量控制器DPFM / DPFC250系列
該大流量控制器（質量流量控制器）在流體的下游側具有壓力檢測孔，并且通過來自流量管內部的壓差來測量流量。
隨著壓差計的發展，我們能夠實現寬流量范圍和先進的測量。
特點
1. 可以測量小尺寸和大流量。在湍流中測量壓差，流路直徑小，流路長度短。
對于傳統的熱力類型，湍流是層流的，因此無法在大流量下實現小型化。
EX）500SLM：流路直徑1/2“流路直徑5”
2.流量計通過測量超低壓力損失和微小壓差，以幾乎與管道阻力相同的高速響應。
檢測對象
目標氣體流量/壓力（目標）
流量：100SLM，200SLM，500SLM，1000SLM，2000SLM，4000SLM
壓力：大氣壓至0.99MPa
標準校準壓力：0.2MPa，0.5MPa （需要指ding）
目標氣體：N2，空氣， H2，用于CH4，Ar，CO2氫氣的Max1000SLM（將來將考慮使用2000SLM）
?日本ace差壓式大流量控制器DPFM / DPFC250系列
規格
| 目標氣體 | N2，空氣，H2，CH4，Ar，CO2 |
| 供給（入口）壓力 | 0.4-0.7MPaG |
| 下游（出口）壓力 | 相對于供給壓力為-0.2MPa以下 |
| 滿量程流量（1） | 300SLM（L / min：0°C，1 atm轉換） |
| 切 | 設定低于2％FS時控制閥關閉 |
| 準確性 | ±1％FS |
| 重復性 | ±0.5％FS |
| 使用（精度保證）范圍 | 0至50°C（10至40°C：保證精度），無凝結 |
| 反應性 | 在2秒鐘內設置值（典型值） |
| 沖突 | 1/2英寸SWL |
| 耐壓 | 0.99兆帕 |
| 電源電壓 | DC24V±10％ |
| 外部輸入 * C / C * SET | *閉合：控制，打開：關閉 * 0-5VDC |
| 外部輸出 *警報 * OUT | *報警時： 與關閉的設定流量之差：上限和下限（9.9％FS） 主機異常（電源電壓） * 0至5VDC |
| 氣源壓力（用于閥門驅動） | 0.4-0.7MPaG |
| 供氣競賽 | ф4毫米一鍵式 |
| 外密封 | 1x10 -7 Pa ? m 3 /秒（He） |
