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              內置式陶瓷氣體過濾器

              內置式陶瓷氣體過濾器

              產品型號: PGF系列

              所屬分類:過濾器

              產品時間:2025-08-05

              簡要描述:日本pureron內置式陶瓷氣體過濾器PGF系列
              在超微LSI制造工藝中,要求必須將原料氣體以高純度的狀態輸送到使用點。因此原料氣體的高純度化自不必言說,管道系統的超凈化亦是一大重點。Pureron Japan 為順應這一時代的需求,研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器,從而實現了具有長久穩定狀態的0.003μm的高過濾精度。

              詳細說明:

              日本pureron內置式陶瓷氣體過濾器PGF系列

               

              • 高過濾精度
                在超微LSI制造工藝中,要求必須將原料氣體以高純度的狀態輸送到使用點。因此原料氣體的高純度化自不必言說,管道系統的超凈化亦是一大重點。Pureron Japan 為順應這一時代的需求,研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器,從而實現了具有長久穩定狀態的0.003μm的高過濾精度。
              • 蝕刻和薄膜形成時必*高選擇性
                在追求高選擇性的過程中,極其重要的一點是去除水、氧氣等不純物的問題。為了切實地做到去除不純物,首先必*,是在高溫狀態下進行烘烤。從該觀點出發研制出的陶瓷過濾器可進行200℃的高溫烘烤。
              • 零維護實現成本削減
                能夠根據粒子粒徑大小分階段進行過濾的三層結構,因此幾乎不會有堵塞的問題。并且與以往的過濾器相比,具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過濾器不會在使用過程中出現故障。所以不會因生產線暫時中斷而帶來經濟損失,并可長期持續地削減成本。

              日本pureron內置式陶瓷氣體過濾器PGF系列

              規格

               

              過濾精度0.003μm(但是,純水過濾時は0.1μm)
              推薦流量10~200?/min(各型號區別:參考流量特性曲線)
              設計壓力17MPa (2,465PSIG) at20℃本產品全部經過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是,依據日本國內的高壓氣體保安法,最高使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關于1MPa以上的高壓煤氣認定品,請詢問我們。
              常用壓力1MPa(145PSIG)未滿
              最大容許差壓9.6MPa (1,392PSIG) at20℃
              最高連續使用溫度120℃
              烘烤溫度200℃
              外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
              構成材料外罩:SUS316L 內表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 元素:氧化鋁陶瓷(Al2O3)  密封圈:PTFE
              連接零件1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG®、其它


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