日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度測量系統F10-RT
集成測量單元和測量臺的緊湊型臺式測量系統
光譜范圍廣，可選擇多種光源
反射率和透射率同時測量，膜厚、折射率和可用分析能力消光系數
標準維護時間記錄的相機測量位置
放個樣品就行了。無需調整光學系統，設置非常簡單
| 平板 | 聚酰亞胺、ITO、抗蝕劑、氧化膜、抗反射涂層、PET和玻璃基板上的各種光學膜 |
|---|---|
| 光學鍍膜 | 玻璃、眼鏡、鏡片等的硬質涂層。 |
| 薄膜太陽能電池 | CdTe、CIGS、非晶硅等 |
| 模型 | F10-RT -紫外線 | F10-RT | F10-RT -近紅外 | F10-RT -近紅外 | F10-RT -UVX |
|---|---|---|---|---|---|
測量波長 范圍 | 190 – 1100nm | 380 – 1050nm | 950 – 1700nm | 380 – 1050nm | 380 – 1050nm |
膜厚測量 范圍 | 1nm – 40μm | 15nm – 70μm | 100nm – 150μm | 15nm – 150μm | 1nm – 150μm |
準確性 | ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | ± 0.2% 薄膜厚度 | ||
| 1納米 | 2納米 | 3納米 | 2納米 | 1納米 | |
光源 | 氘· 鹵素 | 鹵素 | 氘· 鹵素 | ||
平板中使用的透明電極ITO的膜厚和折射率的測定例
同時測定反射率和透射率。薄膜厚度分析 FIL Measure 軟件可即時分析薄膜厚度、折射率等。
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