日本uv-asumi研發用掃描型準分子輻照裝置
掃描階段可以處理比以前更大的區域。
配備臭氧分解裝置，無需排氣設備。
日本uv-asumi研發用掃描型準分子輻照裝置
| 研發用掃描型準分子輻照裝置 | |
| 模型 | ASM86準分子 |
|---|---|
| 發射波長 | 172nm |
| 待處理對象 | W86mm x D120mm 以下，厚度 40mm 以下 |
| 照射距離調整 | 帶有用于調節的實驗室千斤頂（可變照射距離從 0 到 40 mm） |
| 外形尺寸 | 機身：(W) 432 mm x (D) 510 mm x (H) 520.5 mm（不包括突出部分） |
| 大約重量 | 約 25 kg（主體 20 kg，照射單元 4.8 kg） |
| 機身材質 | SUS304 / A5052P / SPCC |
| 輻照單元 | |
| 燈具制造商 | 濱松光電株式會社制造 |
| 模型 | 平面準分子 EX-86U L13129 |
| 輻照強度 | 65mW/cm2 |
| 照射面尺寸 | 推薦 86mm x 40mm 準分子有效照射距離 5mm 以內 |
| 冷卻方式 | 強制風冷 |
| 運輸科 | |
| 表材 | A5052P（帶對齊狹縫） |
| 遮光罩 | PVC(UV ｃｕｔ黃色) |
| 處理速度 | 0.1mm/秒-120mm/秒 |
| 加工活動范圍 | 240mm |
| 其他 | |
| 觸控面板 | 4英寸單色觸摸屏 |
| 食譜數量 | 20個配方（加工速度和照射時間可設置） |
| 監控功能 | 具有當前速度/當前位置/剩余時間顯示功能 |
| 臭氧排氣設備 | 內置臭氧催化劑（強制風扇排氣） |
| 公用事業 | AC100V 50 / 60Hz 400VA |
